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多晶炉波纹管多晶炉波纹管耐高温、耐高压、密封性好!的详细信息多晶炉波纹管 产品说明: 隔热框架升降结构通过提升基架安装在设备炉体上部,主要有伺服电机产生驱动力,减速机变速,通过齿轮箱动力转向,软轴连轴器传动,直线导轨连接件高精度 升降波纹管。这样使得提升杆的运动变成在真空内部的运动,从而将动密封转变为简单的静密封,提高了密封的可靠性、安全性、稳定性,真空保护性好,保证压升率指标,提高硅锭的质量。 多晶炉波纹管技术指标: 1、真空漏率:1* 10-13Pa·L/S; 2、压缩比:80%; 3、使用寿命:100万次; 4、材质:SUS 316L。 用 途:主要用于晶体生长炉。 |
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